瑞典Ionautics lonMeter：精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)電離分?jǐn)?shù)與沉積通量，助力PVD/IPVD工藝與涂層質(zhì)量雙重提升
在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領(lǐng)域，精確監(jiān)測(cè)沉積通量和電離分?jǐn)?shù)對(duì)于優(yōu)化工藝參數(shù)和涂層質(zhì)量至關(guān)重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰(zhàn)提供了創(chuàng)新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平（QCM）技術(shù)，不僅實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，還通過一系列獨(dú)特設(shè)計(jì)，提升了電離分?jǐn)?shù)監(jiān)測(cè)的準(zhǔn)確性和可靠性。
關(guān)于lonMeter
lonMeter憑借其獨(dú)特的傳感器設(shè)計(jì)，能夠精確量化沉積通量中的電離分?jǐn)?shù)，這對(duì)于深入理解電離機(jī)制及優(yōu)化電離參數(shù)至關(guān)重要。在加工過程中，它提供實(shí)時(shí)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量功能，使研究人員能夠即時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)以確保產(chǎn)品質(zhì)量。為了確保電離分?jǐn)?shù)監(jiān)測(cè)的準(zhǔn)確性，lonMeter還配備了高效的磁屏蔽裝置，這一設(shè)計(jì)不僅有效避免了等離子體電子對(duì)診斷過程的干擾，同時(shí)確保了離子和中性物質(zhì)的順利傳輸，從而提供了更加準(zhǔn)確和可靠的電離分?jǐn)?shù)數(shù)據(jù)。與傳統(tǒng)的使用網(wǎng)格的解決方案相比，lonMeter的磁屏蔽裝置在阻擋電子方面表現(xiàn)出色，且專注于成膜材料的監(jiān)測(cè)，排除了雜質(zhì)干擾，使得數(shù)據(jù)更加可靠。lonMeter的應(yīng)用范圍廣泛，涵蓋了電離物理氣相沉積（IPVD）工藝的多個(gè)方面：
● 電離通量分?jǐn)?shù)優(yōu)化：
通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電離過程中的關(guān)鍵參數(shù)，lonMeter能夠幫助用戶優(yōu)化電離通量分?jǐn)?shù)，提高工藝的穩(wěn)定性和效率。
● 過程穩(wěn)定性提升
lonMeter能夠監(jiān)測(cè)電離過程中的漂移，及時(shí)采取措施進(jìn)行緩解，從而確保涂層質(zhì)量的一致性和可靠性。
● 涂層參數(shù)調(diào)整
通過調(diào)整電離參數(shù)，用戶可以利用lonMeter靈活調(diào)整涂層的應(yīng)力、硬度和電導(dǎo)率等關(guān)鍵性能，以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。
應(yīng)用優(yōu)化策略于多個(gè)領(lǐng)域：
1.電離物理氣相沉積(IPVD)中電離通量分?jǐn)?shù)的優(yōu)化工藝
2.通過監(jiān)測(cè)和緩解電離過程中的漂移來實(shí)現(xiàn)過程穩(wěn)定
3.通過監(jiān)測(cè)和控制電離來調(diào)整涂層參數(shù)，如應(yīng)力、硬度和電導(dǎo)率
4.通過空間映射電離和沉積來優(yōu)化沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)
5.系統(tǒng)設(shè)計(jì)優(yōu)化，希望它均勻分布在空間中
6.在加工過程中現(xiàn)場(chǎng)優(yōu)化 PVD 源和磁體組設(shè)計(jì)
IonMeter產(chǎn)品規(guī)格
石英振蕩器類型: 6 MHz
頻率分辨率: ± 0.01 Hz，10次讀數(shù)/秒
頻率穩(wěn)定度: 總計(jì)± 2 ppm，0°至 50°C 范圍內(nèi)
水晶兌換: 前裝式獨(dú)立包裝，方便更換
通訊接口: USB
輸入電壓：USBC
環(huán)境規(guī)格：
無水冷時(shí)最高工作溫度：130°C
最小水冷流量時(shí)最高工作溫度：400°C
規(guī)范：CE 認(rèn)證
尺寸和安裝
傳感器尺寸：待定
安裝：40CF（法蘭），1xBNC-Microdot和2x水
為何選擇lonMeter？
lonMeter不僅能夠輔助優(yōu)化電離物理氣相沉積工藝中的電離通量分?jǐn)?shù)，穩(wěn)定工藝過程；還能夠通過監(jiān)測(cè)和控制電離來調(diào)整涂層參數(shù)，滿足多樣化需求；同時(shí)，通過繪制電離和沉積的空間分布圖，lonMeter還能夠輔助沉積系統(tǒng)布局、PVD源和磁鐵組的優(yōu)化設(shè)計(jì)，提高沉積效率和涂層質(zhì)量，為研究人員提供了便利。
lonMeter作為瑞典Ionautics公司提供的創(chuàng)新解決方案，憑借其基于石英晶體微天平（QCM）技術(shù)的獨(dú)特設(shè)計(jì)和高效磁屏蔽裝置，在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領(lǐng)域展現(xiàn)出了卓越的性能。它不僅實(shí)現(xiàn)了對(duì)沉積通量和電離分?jǐn)?shù)的精確監(jiān)測(cè)，還通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和現(xiàn)場(chǎng)優(yōu)化策略，顯著提升了工藝參數(shù)的優(yōu)化能力和涂層質(zhì)量的穩(wěn)定性。無論是在電離通量分?jǐn)?shù)的優(yōu)化、過程穩(wěn)定性的提升，還是在涂層參數(shù)的調(diào)整、沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)的優(yōu)化以及沉積過程中的現(xiàn)場(chǎng)優(yōu)化方面，lonMeter都展現(xiàn)出了其優(yōu)勢(shì)。對(duì)于致力于提升PVD和IPVD工藝水平的研究人員和工程師而言，選擇lonMeter它將為您的研究和生產(chǎn)工作帶來便利和效益。
