MEMS產(chǎn)品早在1980年就已經(jīng)存在了，與使用了CMOS工藝的一般半導(dǎo)體相比，因為晶圓制成非常復(fù)雜，包裝也很耗功夫，使得工程標準化和低成本變得十分困難，所以只應(yīng)用于限定用途。但是，最近確定了批量生產(chǎn)小型、高性能的MEMS產(chǎn)品的技術(shù)，除了汽車發(fā)動機控制、醫(yī)療器械、噴墨打印機這些常用用途，數(shù)碼相機和智能手機這寫 隨身攜帶的電子產(chǎn)品里也使用了很多的MEMS產(chǎn)品。MEMS產(chǎn)品今后將持續(xù)每年10-15%的增長率，并可預(yù)測在2017年的時候?qū)默F(xiàn)在的9200億日元增長到17000億日元。（Yole Development公司預(yù)測）

所有東西的運動都是X、Y、Z軸平行的運動和圍繞軸的旋轉(zhuǎn)運動，共表現(xiàn)為6個運動組合。根據(jù)平行運動（平移加速度）傳感的加速度傳感器、旋轉(zhuǎn)運動（角速度）傳感的陀螺儀產(chǎn)品系列，應(yīng)用于依賴高精度運動傳感和高可靠性的特征的汽車、輪船的姿態(tài)控制、產(chǎn)業(yè)用裝置的傾斜測定、醫(yī)療用途等等。
 
本文將介紹生產(chǎn)具有高精度、高可靠性的傳感器的獨特技術(shù)的3D-MEMS和同時兼具高精度和高可靠性的加速度傳感器以及陀螺儀的特征。
 
3D-MEMS技術(shù)

使用了3D-MEMS技術(shù)的元件示例說明（圖1）。MEMS元件是由可移動部構(gòu)成的硅晶片和夾在部上下用于結(jié)合、密封的CAP晶圓構(gòu)成。可移動部的紡錘和梳型電極框架用彈簧支撐、紡錘和梳型電極的運動通過CAP晶圓間或者梳型電極之間的電容值的變化來進行檢測。村田制作所將凝聚了實現(xiàn)了高精準度檢測的3D-NEMS技術(shù)的平臺擴大到所有產(chǎn)品中，使得有可能為具有穩(wěn)定性和高信賴性的傳感器提供一個合理的價格。下面介紹3D-MEMS技術(shù)的強大特征。

高度絕緣、低寄生電容的獨特VIA結(jié)構(gòu)

 從MEMS結(jié)構(gòu)部分的引出電極最早作為VIA結(jié)構(gòu)進行量產(chǎn)。硅形成的引出電極的間為玻璃絕緣的獨特VIA結(jié)構(gòu)，同時實現(xiàn)了電極間的高絕緣電阻和低寄生容量、為傳感器的高精度化、高穩(wěn)定性、低消耗電流的實現(xiàn)做出了巨大的貢獻。此外，在任何場所都可能實現(xiàn)電極導(dǎo)出的VIA的結(jié)構(gòu)，為允許元件的設(shè)計自由度和元件的小型化做出了貢獻。

高精度的空間控制技術(shù)創(chuàng)造出高感度和小型化

3D-MEMS結(jié)構(gòu)的另一個重點是，可移動部兩者間形成2.5µm的狹小空間、使高精度的容量測量成為可能。通過高精度的拋光蝕刻技術(shù)，實現(xiàn)了達到極限的增高的晶圓的平坦性和后述的高精度的晶圓結(jié)合技術(shù)。這個技術(shù)可高精度檢測出移動部的上下方向移動，為元件的高性能化和小型化做出貢獻。

實現(xiàn)高可靠性的原子級密封

可移動部和CAP晶圓通過玻璃和硅的陽極結(jié)合或者硅和氧化硅的直接結(jié)合在晶圓級結(jié)合。無論哪種接合，都是為了加強固定原子之間的接合，為紡錘運動空間的空氣密封以及高可靠性做出了貢獻。另外，一般的晶圓接合中，以元件為單位的接合不良情況時有發(fā)生，村田運用多種方式對所有產(chǎn)品進行嚴格檢查，只有合格的產(chǎn)品才可出貨。

圖1：3D-MEMS技術(shù)特征
 

高精度、高可靠性是MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計中一貫徹底堅持的。下面將列舉加速度傳感器和陀螺儀的設(shè)計，并且介紹其中的一部分。
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加速度傳感器

加速度傳感器的原理是用彈簧支撐的紡錘隨著加速度而運動，將這種運動和紡錘體之間的容量值的變化以電氣形式檢測出來。村田用了4個紡錘的獨特結(jié)構(gòu)才實現(xiàn)此功能。對于使用了4個紡錘所測量出的X、Y、Z3個軸的加速度情報，可以得到其中一個自由度最大的情報。通過這個自由度可實現(xiàn)平時的自我診斷功能。因此，高信賴性已經(jīng)成為必要的車載傳感器的必要條件。

圖2：加速度傳感器


圖3：加速度傳感器元件的結(jié)構(gòu)

圖4：加速度傳感器的特性圖
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陀螺儀

村田的陀螺儀可以檢測直線運動的物體在直行軸周圍的旋轉(zhuǎn)運動時所受的力=科里奧利力。科里奧利力很小，MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計的重點在于怎樣取消外在的干擾。同時，村田還準備了很精彩的解決方案。

實現(xiàn)了高精度的獨特結(jié)構(gòu)在細彈簧上面綁上的兩個紡錘進行逆向運動，紡錘4來獲得情報。通過演算這4個信號，去除所有方向的平行加速度、旋轉(zhuǎn)加速度，能獲得純粹的科里奧利力。

圖5：陀螺儀


圖6：陀螺儀的結(jié)構(gòu)圖


圖7：陀螺儀特性圖

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組合傳感器

特別在汽車市場，為了更高精度的控制，將陀螺儀信號和加速度傳感器的信號組合起來的需求有很多。以此為背景，諸如防側(cè)滑制動系統(tǒng)（ESC），防抱死制動系統(tǒng)（ABS）、輪胎壓力檢測系統(tǒng)（TPMS）此類的安全功能以發(fā)達國家為中心新車裝載法制化正在被推進，電動駐車制動器（EPB）、坡道起步輔助系統(tǒng)（HAS）這樣的新功能也陸續(xù)活躍起來。村田制作所將這兩個傳感器組合在一個傳感器中，為了應(yīng)對未來的新需求，我們將繼續(xù)擴大產(chǎn)品的陣容。

圖8：組合陀螺儀傳感器


圖9：組合陀螺儀傳感器結(jié)構(gòu)圖

村田制作所的MEMS傳感器以高精度、高可靠性為必要用途進行設(shè)計和開發(fā)，這個想法不僅體現(xiàn)在本文介紹的制作過程和MEMS的設(shè)計中，還徹底貫徹于ASIC設(shè)計及包裝設(shè)計中。其結(jié)果是，可以充分應(yīng)對車、輪船、產(chǎn)業(yè)用設(shè)備和醫(yī)療用途等的嚴格要求。

MEMS今后可能將被適用于更廣泛用途的高科技技術(shù)。村田制作所將MEMS作為將來領(lǐng)先技術(shù)的一種，持續(xù)向市場提供最高端的MEMS商品，不斷強化開發(fā)體制和對客戶的支持。