產品特性：

• 由檢測側滑的傳感器以及使各輪發生制動力的油壓單元構成
• 采用MEMS結構
• 抗振性將適應范圍擴大到了10kHz以下
• 采取了噪聲對策

適用范圍：

• 汽車

日立制作所和日立汽車系統（Hitachi Automotive Systems）于2009年10月宣布共同開發出了ESC（防側滑裝置）用傳感器（圖1）。該傳感器的特點是：提高了耐熱性及抗振性，可與發動機室內的油壓單元一體化。包括組裝成本在內，成本有望比原來降低50％。預定2012年開始量產。 ESC的系統由檢測側滑的傳感器以及使各輪發生制動力的油壓單元構成。現有系統大多在車室內配置傳感器，這時傳感器到發動機室油壓單元是用電纜線連接的。由于電纜線的成本昂貴，因此ESC在降低系統成本方面存在限制。

新傳感器由于提高了耐熱性及抗振性，因此可與油壓單元一體化。除了能夠省去傳感器與油壓單元間的電纜線之外，由于減少了組裝工序，還可降低成本。包括組裝工序在內，傳感器的成本可降低50％。

日立集團預計，以新興市場國家等為主要對象，車輛的低成本化及ESC配備的義務化將呈現出全球擴大趨勢。新傳感器可使ESC輕松配備到低價位車輛上。美國已開始采取在2012年之前將ESC的配備分階段進行義務化的措施，而且歐洲也展開了同樣的行動。

新開發的ESC傳感器采用MEMS結構，可通過一個傳感器來檢測角速度（單軸）和加速度（前后左右雙軸）。耐熱性從可用于車內（-40～85℃）的水平提高到了可用于發動機室（-40～125 ℃）的水平。抗振性將適應范圍從原來的2kHz以下擴大到了10kHz以下。

新傳感器由MEMS中常見的固定部、可動部、連接固定部與可動部的彈簧，以及檢測可動部運動的電極構成。利用電極靜電容量隨著可動部的運動而發生變化的特性來檢測角速度和加速度（圖2）。檢測角速度的電極只有在彎道等使車輛轉向時才檢測信號。 新傳感器由于在發動機室中使用，因此包括固定部在內的底板可會因為熱膨脹而變形。為了使固定部的變形不會影響到可動部的運動，在彈簧的配置上下了工夫，不過日立并未公布相關細節。另外，為了確保抗振動性，還采取了噪聲對策。為了使發動機的振動不給傳感器電極的信號檢測造成影響，通過信號處理去除了與車輛行駛無關的約100Hz以上的噪聲。